CMP相关数据报告_免费下载-镝数聚dydata,相关行业数据募投项目,CMP抛光材料,原材料,抛光液,工业制造,半导体CMP抛光材料是晶圆表面平坦化的关键耗材。化学机械抛光(CMP)是通过化学试剂的化学腐蚀和纳米磨粒的机械研磨技术结合,实现晶圆表面的高度平坦化。随着芯片制程迭代升级,CMP抛光次数成倍数增长。根据杜邦数据,目前7nm以下逻辑芯片中CMP抛光步骤约三十步,最先进芯片可达四十二步。抛光液和抛光垫是CMP抛光工艺的核心耗材,分别占抛光材料成本比重的49%和33%。
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    更新时间:2023-10-25
    CMP抛光材料是晶圆表面平坦化的关键耗材。化学机械抛光(CMP)是通过化学试剂的化学腐蚀和纳米磨粒的机械研磨技术结合,实现晶圆表面的高度平坦化。随着芯片制程迭代升级,CMP抛光次数成倍数增长。根据杜邦数据,目前7nm以下逻辑芯片中CMP抛光步骤约三十步,最先进芯片可达四十二步。抛光液和抛光垫是CMP抛光工艺的核心耗材,分别占抛光材料成本比重的49%和33%。
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